세종대학교(총장 배덕효) 나노신소재공학과는 지난달 21일 세종대학교 광개토관에서 전문가 특강을 진행했다.  

이날 특강은 숭실대학교 이웅규 교수가 ‘MIM Capacitors and Interface Properties’라는 주제로 진행했다. 

이웅규 교수는 원자 크기 단위의 두께로 증착시키는 방식인 ALD(Atomic Layer Deposition)의 단점을 보완하는 연구를 진행하고 있다. 또한, capacitor의 capacitance 특성과 연관된 TiO2 혹은 SrTiO3(STO)의 결정화에 대한 연구 및 다양한 방식과 온도로 결정화도를 높이려는 시도를 하고 있다. 

이번 특강은 세종대 나노신소재공학과 학생들을 대상으로 반도체 소재(MIM capacitor)에 관한 최신 연구를 소개해 DRAM 반도체 소재에 대한 전공 역량을 향상하기 위해 개최됐다.

특강은 △Introduction △Atomic Layer Deposition △High-k Dielectrics for DRAM Capacitors(ZrO2/TiO2/SrTiO3) △Summary 순으로 진행됐다. 

특강에 참여한 세종대 나노신소재공학과 김연규 학생은 “ALD 방식이 흥미로웠다. 단순히 물리적 증착이 아닌, 화학적 방식을 통해 원자 크기의 두께로 증착되기 때문에 다양한 분야에서 쓰일 수도 있겠다는 생각이 들었다. 현재는 반도체 분야에서 많이 쓰이고 있지만, 세밀하고 정확한 기술을 필요로 하는 biology 분야에서도 유용하게 쓰일 수 있을 것 같다”고 말했다.