한국공학대학교 (총장 박건수, 이하 한국공대)는 나노반도체공학과 이성남 교수 연구팀 (참여연구원: 김희웅, 나영채)이 ‘습식식각공정을 이용한 모노리식 풀컬러 마이크로 디스크형 LED’를 개발하였다고 밝혔다.

이번 연구에서는 질화물계 반도체 발광다이오드(이하 LED)를 마이크로 LED 디스플레이 광원으로 사용할 수 있도록, 기존의 건식 식각 공정을 대신한 식각 손상이 거의 없는 습식 식각 공정 기술을 개발하고 이를 이용한 하나의 웨이퍼에서 적색, 녹색 및 청색이 모두 발광 가능한 반분극 질화물계 마이크로 디스크형 풀컬러 모노리식 LED 소자 기술을 개발하는데 성공했다.

한국공대 이성남 교수는“이번 연구 성과는 기존의 질화물 반도체 건식 식각 손상을 최소화할 수 있는 습식 식각 공정 개발하고, 도펀트에 따른 습식 식각 현상 및 메커니즘을 체계적으로 규명하였다. 또한, 이를 이용하여 마이크로 디스크형 풀컬러 LED 광원을 하나의 반분극 질화물 LED 웨이퍼에서 얻을 수 있고, 이를 병렬 연결한 어레이 구조를 형성하여 고휘도의 마이크로 디스크형 LED 광원을 개발함으로써, 차세대 마이크로 LED 디스플레이 풀컬러 광원 및 다양한 형태의 다파장 광원으로 응용될 수 있을 것으로 기대된다”고 말했다.

한편, 본 연구는 한국연구재단의 중견연구과제 지원을 받아 수행되었으며 나노과학기술 분야에서 세계적으로 권위 있는 ‘미국화학학회 응용나노재료 (ACS Applied Nano Materials’2022년 7월 6일자에 온라인판에 게재되었다.

* 논문 출간 관련

1. 표지논문 선정게재 날짜: 2022년 7월 6일

2. 인터넷사이트 주소:  https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsanm.2c01651

3. 논문 reference 표기: H. W. Kim et al. ACS Applied Nano Materials 

DOI: 10.1021/acsanm.2c01651